Tektronix 泰克
Tektronix 泰克Keithley 6487 皮安表/电压源产品介绍：
产品型号：Keithley 6487
产品品牌：Tektronix 泰克
产品类别：皮安表/电压源
产品备注：皮安表/电压源
Tektronix 泰克Keithley 6487 皮安表/电压源产品特点：
Tektronix 泰克Keithley 6487 皮安表/电压源产品应用：
Tektronix 泰克Keithley 6487 皮安表/电压源产品优势：
5位半6487皮安表/电压源提高 了备受赞誉6485的测量能力，并增 加了500V的高分辨率源。它具有比 6485更高的准确度和更快的上升时 间，以及配合容性元件使用的阻尼 功能。这款经济有效的仪器具有8 个电流测量量程和高速自动量程功 能，可以测量20fA-20mA的电流，其 测量速度达到1000读数/秒，并且输 出200μV-505V的电压。
6487的10fA分辨率、卓越的灵 敏度、电压扫描以及交变电压的电 阻测量使其非常适合于低电流器件 的特性分析。尽管它使用了最新的 电流测量技术，但它仍比类似功能 的其它仪表[例如光功率计、垓欧姆 表（tera-ohmmeter）、皮安表竞争 产品或用户设计的方案]便宜得多。 由于6487相当于一台高端数字万用 表的价格，所以基本上任何实验室或生产车间都能负担得起用6487进行皮安级测量。
数字万用表一般使用分流电表电路测量电流，而6487是一款反馈式皮安表。此设 计将输入压降（voltage burden）减少了几个数量级，使较低测量量程上的输入压降 低于200μV。较低的输入压降使6487的功能比数字万用表更象一个理想的安培计，所 以即使在输出电压极低的电路中，它也能实 现高准确度的电流测量。
6487构建在吉时利最受欢迎的一款皮 安表（487型）的强大功能之上，增加了20mA 测量量程并且极大提高了测量速度，达到 1000读数/秒。它用内建电压扫描功能和用 于高阻的交变电压法简化了器件特性分析。 带时间标记的3000读数数据缓冲器提供最 小、最大和标准差统计。内建仿真模式可以 用编写的487控制代码来控制6487。
• 直接电阻测量。优化用于50Ω-5×1014Ω的电阻，使用输出电压/测量电流法。
• 交变电压法测量电阻。此方法改进了具有高背景电流或高噪声器件的电阻测量。 它扩展了可测量电阻范围至1016Ω。
• 500V过载保护。这种高负载保护和坚固耐用的设计让6487耐受过量溢出，包括 偶然将电压源直接短路至电流表。
后面板三同轴输入。这允许皮安表浮地工作达500V。当不浮地时，增加三同 轴至BNC适配器允许使用便宜、易用的BNC电缆，无需使用更贵的三同轴电缆。
• RS-232和IEEE-488接口。这些接口能轻松将6487集成进自动测试和测量系 统中。
• 按比例的电压模拟输出。此输出允许6487发送测量结果至DMM、数据采集 卡、示波器或长图记录仪等设备。
• 内建触发链路接口。触发链路接口简化了6487与其它仪器及电压源的同步。此接口在单个连接器上结合了6种单独可选的触发线路以便轻松、直接地控 制系统中的全部仪器。
• 显示on/off开关。对于光敏器件的研究，例如测量光电二极管的暗电流或未封装二极管的I-V测量，可以关闭前面板显示以防引入光线而使测量结果的准 确性大幅降低。
• 一键式前面板设计。按一次按钮就能轻松配置功能，无需复杂的功能菜单。
晶圆级光电二极管测试
6487型皮安表/电压源能配合校准光源与探针夹具使用以创建经济有效的 光电二极管测试系统。多台6487可以连接至DUT的探测垫以提供光电流读数， 或者随着增加开关矩阵，一台皮安表就能从多个探测垫测量电流。测量过程的 第一步完全在黑暗中进行，6487生成一个电压扫描，然后测量产生的暗电流。 在第二步中，随着校准步骤中的亮度级增加，施加电压偏置并测量产生的光电 流。相同的基本测试配置可用于测试正-本征-负（PIN）二极管和雪崩光电二极管 （APD）。6487在10V输出量程的高分辨率在要求较小偏置时具有优秀的扫描和偏 置功能。500V的输出能力是为APD提供偏压所必需的。
在半导体制造中，聚焦离子束系统常用于纳米级成像、微加工和测图。重要的是，用 离子检测器仔细监测离子束电流的幅度。离子束产生的次生电流与主离子束的电流成比 例。当测量次生电流时，它能用于控制主离子束的强度。然而，次生电流非常微弱，通常只 有几个皮安，因此测量仪表必需具有很高的测量准确度和可重复性，以及皮安级以下的 分辨率。6487的宽测量范围和5位半分辨率使其非常适合于此应用。通过6487的三同轴连 接器实现6487的信号连接。通常，检测器可能需要高电压吸引离子，因而必需使用6487的 500V输出。
6487皮安表适合在绝缘电阻测试等应 用中测量高电阻（>1GΩ）。一个恒定的电压 与未知电阻和皮安表串联。皮安表的压降可 以忽略，因此全部压降出现在未知电阻上。 产生的电流被皮安表测量并且使用欧姆定律 （R=V/I）计算出电阻值。为了防止静电干扰 产生的电流，未知电阻封装在屏蔽测试装置 中。如果未知电阻器具有较大寄生电容，可 以增加一个小的串联电阻器以降低噪声。
测量低电平直流电流需要的功 能往往远超过数字万用表（DMM） 具有的功能。一般地说，DMM的灵 敏度不足以测量100nA以下的电 流。即便在较高的电流上，DMM的 输入压降（voltage burden）达 到几百毫伏，因此不能准确测量电 流。静电计能非常准确地测量低电 流，但是测量极低电流所需的电路 加上电压、电阻和电荷测量等功能 会极大增加静电计的成本。6487型 皮安表/电压源结合了DMM的经济易 用性以及接近静电计的微电流灵 敏度。
 |
|
